definition |
proces u kojemu se parna faza taloži na odabranu podlogu pri tlakovima manjim od standardnoga tlaka |
synonyms |
admitted term: kemijsko taloženje iz parne faze pri sniženome tlaku not recommended term: kemijsko taloženje iz parovite faze pri sniženome tlaku |
equivalents |
english: low pressure chemical vapour deposition |
abbreviations and acronyms |
english: LPCVD |
classification |
polje: fizika |
source |
