definicija |
proces u kojemu se parna faza taloži na odabranu podlogu pri tlakovima manjim od standardnoga tlaka |
istoznačnice |
dopušteni naziv: kemijsko taloženje iz parne faze pri sniženome tlaku nepreporučeni naziv: kemijsko taloženje iz parovite faze pri sniženome tlaku |
istovrijednice |
engleski: low pressure chemical vapour deposition |
kratice |
engleska: LPCVD |
razredba |
polje: fizika |
vrela |
